3M™ 彈性墊片調節器

除了強大的墊子調節功能，3M™ 彈性墊子調節器在CMP墊子清潔應用中也非常有效。由於其控制良好且一致的刷毛和間距，與傳統刷子相比，它有助於減少被困的漿料和碎屑，包括對於氧化鋯、陽離子二氧化矽和其他難以清潔的漿料。刷毛材料也比傳統產品更容易用水清洗，堅固的一體成型聚合物將刷毛損失降至幾乎為零。

高解析度影像分析顯示，幾乎所有的刷毛尖（以紅色顯示）都會與墊子表面接觸，這有助於在磁碟壽命期間實現非常一致的調節性能。此外，嚴格控制的製造過程有助於將磁碟間的工作刷毛尖變異性降至最低。