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高度工程化定制化的研磨刷,專為修整CMP研磨墊設計。
堅固耐用的刷毛獨立固定並均勻分佈在3M研磨刷表面,使3M研磨刷適合去除柔軟的顯微複製、多孔的CMP研磨墊上的碎片。刷毛由一種獨特的聚合物製成,相比於金屬更耐腐蝕。聚碳酸酯載體更方便安裝,便於連接到各種拋光工具。
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