3M™ Trizact™ 複合研磨液 DT-100

對碳化矽和藍寶石等超硬基材進行有效研磨和拋光

與銅盤工藝相比，使用3M™Trizact™研磨墊，改善了平整度(TTV)，去除率和表面光潔度

去除率高，是粗研磨步驟的好選擇

3M™Trizact™研磨液DT-100是一種低粘度研磨料漿，用於拋光藍寶石和碳化矽等超硬基材。當與3M™Trizact™研磨墊一起使用時，這種CMP漿料可提供最高性能。

Trizact複合研磨液DT-100由獨特的三乙二醇金剛石複合材料組成，具有良好的表面光潔度和高去除率，可實現經濟研磨。這種漿料有1.5微米和3微米兩種尺寸，以滿足一系列研磨和拋光需求。它是為該工藝的粗研磨步驟設計的。產品中的三甘醇與水相溶，易於清洗。

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