3M™ Trizact™ 複合研磨液 DT-100
- 3M ID B5005036186
詳細訊息
產品亮點
- 對碳化矽和藍寶石等超硬基材進行有效研磨和拋光
- 與銅盤工藝相比，使用3M™Trizact™研磨墊，改善了平整度(TTV)，去除率和表面光潔度
- 去除率高，是粗研磨步驟的好選擇
- 能與單面或雙面研磨設備一起使用
- 表面光潔度好
- 容易用水清洗
- 與3M™Trizact™研磨墊相容
3M™Trizact™研磨液DT-100是一種低粘度研磨料漿，用於拋光藍寶石和碳化矽等超硬基材。當與3M™Trizact™研磨墊一起使用時，這種CMP漿料可提供最高性能。
Trizact複合研磨液DT-100由獨特的三乙二醇金剛石複合材料組成，具有良好的表面光潔度和高去除率，可實現經濟研磨。這種漿料有1.5微米和3微米兩種尺寸，以滿足一系列研磨和拋光需求。它是為該工藝的粗研磨步驟設計的。產品中的三甘醇與水相溶，易於清洗。
規格
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|---|---|---|---|
| 品牌 | Trizact™ | ||
| 應用領域 | 劃痕修復, 拋光, 研磨, 表面線紋處理 | ||
| 產品應用 | 半導體晶圓, 超硬基材 | ||
| 研磨材料 | 鑽石 | ||
| 粗度(Grade) | 粗級 | ||
| 被著體 | 氮化矽, 氮化鎵, 矽鋁, 砷化鎵, 碳化矽, 藍寶石, 鉭酸鋰 |
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