3M™ Trizact™ 複合研磨液 DE-100

對碳化矽和陶瓷等超硬基材進行有效研磨和拋光

與銅盤工藝相比，使用3M™Trizact™研磨墊，總厚度變化(TTV)更小，去除率更高，表面光潔度更好

去除率高，表面光潔度好，是精細研磨/pre-CMP步驟的良好選擇

3M™Trizact™複合研磨液DE-100是一種低粘度研磨漿料，用於精密加工超硬基材，如碳化矽。當與3M™Trizact™研磨墊一起使用時，這種漿液提供了最高的性能。

Trizact複合研磨液DE-100由一種獨特的奈米級金剛石複合材料組成，具有優異的表面光潔度和良好的去除率，適用於精細研磨和化學機械拋光(CMP)之前的工藝步驟。它與水相溶，易於清潔。

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