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3M™ Betapure™ AUL系列 液體過濾膠囊 AULZ13007Y04LC01

3M ID 7100049779UPC 00054007982401
  • 高機械性強度堅固結構設計,維持高度一致性濾效
  • 有效降低大粒徑微粒 (LPC),達極佳研磨液粒子分離濾效
  • 低壓損延長濾芯使用壽命
  • 型號:AULZ13007Y04LC01
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產品介紹
  • 高機械性強度堅固結構設計,維持高度一致性濾效
  • 有效降低大粒徑微粒 (LPC),達極佳研磨液粒子分離濾效
  • 低壓損延長濾芯使用壽命
  • 型號:AULZ13007Y04LC01

3M™ Betapure™ AUL 系列液體過濾濾芯/膠囊 專為CMP (Chemical Mechanical Planarization, 化學機械平坦化) 研磨液分離純化所設計。結合3M「複合纖維技術」與「多層過濾」結構,Betapure™ AUL系列可有效降低研磨液中的大粒徑微粒 (LPC)、提升良率,適用於先進CMP製程。Betapure™ AUL系列濾芯的堅固濾芯構造可維持過濾孔徑的一致性。即使製程中遇停機、重新啟動、高壓差等變動,仍可極小化其影響、保持產品一致性。而「多層過濾」結構則可有效降低壓損、極小化研磨液剪切力的影響,同時優化濾芯使用壽命。