3M持續探索並為眾多產業提供創新的解決方案,幫助解決世界各地的問題。
漸進式多孔設計,具優異的硬性/軟性膠體粒子去除效果,能有效降低缺陷率並提高良率。高容雜量可減少停機 (downtime) 且提升整體設備效率 (OEE)
低壓損,降低研磨液產生流體剪切應力的可能性
100%聚丙烯結構,為未使用黏著劑和界面活性劑的安全性濾材。具低溶出性,對高/低pH值的研磨液皆具備極佳的耐化性
3M™ Betapure™ CMP系列液體過濾膠囊為具備高處理量的深層式過濾膠囊,適合過濾化學機械平坦化(CMP)製程中的氧化物與金屬研磨液。3M™ Betapure™ CMP系列液體過濾膠囊以聚丙烯製成,具多層漸進式多孔過濾設計以優化粒子分離效果,達到低壓損、延長濾芯使用壽命的優點。