3M™ Betapure™ CMP系列 液體過濾膠囊為具備高處理量的深層式過濾濾芯,適合過濾化學機械平坦化 (CMP) 製程中的氧化物與金屬研磨液。Betapure™ CMP系列濾芯以聚丙烯製成,具多層漸進式多孔過濾設計以優化粒子分離效果,達到低壓損、延長濾芯使用壽命的優點。 3M™ Betapure™ CMP系列濾芯能有效降低大粒徑微粒 (LPC, large partical counts)、減少其影響良率的可能性,同時維持研磨液拋光的良好特性。除半導體,Betapure™ CMP系列亦適用於資料儲存、資料傳輸、LED等相關過濾應用。