3M™ Betapure™ AUL 系列液體過濾濾芯/膠囊 專為CMP (Chemical Mechanical Planarization, 化學機械平坦化) 研磨液分離純化所設計。結合3M「複合纖維技術」與「多層過濾」結構,Betapure™ AUL系列可有效降低研磨液中的大粒徑微粒 (LPC)、提升良率,適用於先進CMP製程。Betapure™ AUL系列濾芯的堅固濾芯構造可維持過濾孔徑的一致性。即使製程中遇停機、重新啟動、高壓差等變動,仍可極小化其影響、保持產品一致性。而「多層過濾」結構則可有效降低壓損、極小化研磨液剪切力的影響,同時優化濾芯使用壽命。