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  6. 3M™ Betapure™ CMP系列液體過濾膠囊 CMPTJ007BW04AC06, 4.9 in, 6 Per Case

3M™ Betapure™ CMP系列液體過濾膠囊 CMPTJ007BW04AC06, 4.9 in, 6 Per Case

3M ID 7100152444UPC 54710367445901
  • 漸進式多孔設計,具優異的硬性/軟性膠體粒子去除效果,能有效降低缺陷率並提高良率。高容雜量可減少停機 (downtime) 且提升整體設備效率 (OEE)
  • 低壓損,降低研磨液產生流體剪切應力的可能性
  • 100%聚丙烯結構,為未使用黏著劑和界面活性劑的安全性濾材。具低溶出性,對高/低pH值的研磨液皆具備極佳的耐化性
  • 拋棄式膠囊設計便於快速安裝、減少停機和誤觸危險化學物的機率
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產品介紹
  • 漸進式多孔設計,具優異的硬性/軟性膠體粒子去除效果,能有效降低缺陷率並提高良率。高容雜量可減少停機 (downtime) 且提升整體設備效率 (OEE)
  • 低壓損,降低研磨液產生流體剪切應力的可能性
  • 100%聚丙烯結構,為未使用黏著劑和界面活性劑的安全性濾材。具低溶出性,對高/低pH值的研磨液皆具備極佳的耐化性
  • 拋棄式膠囊設計便於快速安裝、減少停機和誤觸危險化學物的機率
  • 高品質製造流程,使用ISO認證品質管制系統

3M™ Betapure™ CMP系列液體過濾膠囊為具備高處理量的深層式過濾膠囊,適合過濾化學機械平坦化(CMP)製程中的氧化物與金屬研磨液。3M™ Betapure™ CMP系列液體過濾膠囊以聚丙烯製成,具多層漸進式多孔過濾設計以優化粒子分離效果,達到低壓損、延長濾芯使用壽命的優點。