3M™ Trizact™ 研磨墊 HT-250

對碳化矽和陶瓷等超硬基材進行有效研磨和拋光

與銅盤工藝相比，和3M™Trizact™複合研磨液一起使用，平整度(TTV)改善，去除率提高，表面光潔度更好，這是粗研磨步驟的一個不錯選擇

替代銅盤工藝，不需要重新對銅盤進行溝槽處理，拋光廢料中不含銅

3M™Trizact™研磨墊HT-250是一種用於研磨矽晶圓的顯微複製研磨墊，用於拋光超硬基材，如藍寶石，碳化矽和陶瓷。

用於粗研磨工藝步驟，Trizact研磨墊HT-250與3M™Trizact™複合研磨液結合使用。可貼附在單面或雙面研磨盤上。

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