3M™ Trizact™ 研磨墊 HT-315-E

對碳化矽(SiC)和陶瓷等超硬基材進行有效的精細研磨

與銅盤工藝相比，和3M™Trizact™複合研磨液一起使用，改善了平整度(TTV)，去除率和良好的表面光潔度，是精細研磨/pre-CMP步驟的良好選擇

替代銅盤工藝，不需要重新對銅盤進行溝槽處理，拋光廢料中不含銅

3M™Trizact™複合研磨墊HT-315-E是一種顯微複製複合研磨墊，用於拋光超硬基材，如碳化矽和陶瓷。

對於精細研磨/pre-CMP步驟，Trizact研磨墊HT-315-E是一個不錯的選擇，當與3M™Trizact™複合研磨液結合使用時，可以產生良好的表面光潔度和高去除率。該研磨墊是普通銅盤和金剛石漿料工藝的替代方案。它可以貼附在典型的單面或雙面研磨盤上。

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