3M™ Trizact™ 鑽石研磨盤

  • 利用3D技術做成精確的陶瓷襯底,其中用CVD技術塗敷一層類鑽石層
  • 精確控制的顯微複製結構
  • 每一顆研磨盤間產品良好的一致性,以及無金屬化的切屑表面
  • 對有金屬污染顧慮的高階制程的應用,是種理想選擇
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產品介紹
  • 利用3D技術做成精確的陶瓷襯底,其中用CVD技術塗敷一層類鑽石層
  • 精確控制的顯微複製結構
  • 每一顆研磨盤間產品良好的一致性,以及無金屬化的切屑表面
  • 對有金屬污染顧慮的高階制程的應用,是種理想選擇

利用3M在研磨、陶瓷、微複製等專業技術,3M™ Trizact™ 研磨墊是專為高階CMP工藝開發的一種創新研磨墊。